半导体电子表面微量异物分析研究步骤

常见产品及检测设备
       1. 湿电子化学品
       指主体成分纯度大于99.99%，杂质离子和微粒数符合严格要求的化学试剂，是重要的电子材料，华瑞测可以通过icp-ms、ms、ic、对湿电子化学品的纯度及杂质做出准确测定。常用设备：icp-ms、ms、ic。
       2. 溅射靶材
      溅射靶材主要应用于电子及信息产业，如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等；亦可应用于玻璃镀膜领域；还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀、装饰用品等行业，海怀检测可以通过gd-ms、ic等手段对靶材进行纯度及杂质做出准确测定。常用设备：gd-ms、ic。
       3. 晶圆
      指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料主要是是硅，海怀可以通过vpd-icp-ms、ms、ic等对晶圆表面的污染物做出准确测定。常用设备：vpd-icp-ms、ms、icp-ms、ic。