碳化硅提纯工艺中碳化硅如何除杂除碳

碳化硅提纯工艺中碳化硅如何除杂除碳？（山川2014重工03赵06）

     （李3.2.8）bsk型捞碳机广泛用于半导体晶圆片切割用碳化硅专用刃料的酸洗、除杂除碳，碳化硅微粉中含有游离碳，碳会在晶硅片切割过程中对切割效果有一定的影响，通过添加化学试剂使料浆中的游离碳漂浮在料浆表面，通过自动捞碳机将漂浮的游离碳除去。（周8.1.9.9）

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