PMMA 495 A系列 PMMA光刻胶 Microchem

pmma(polymethylmethacrylate)是一种非常适合许多成像和非成像微电子应用程序的聚合物材料。通常用于电子束工艺曝光，如t-gate制造。还用于临时晶片接合工艺如晶片减薄，用作保护层和临时粘合剂。

pmma光刻胶是pmma聚合物被溶解在特定的分子量溶剂中，如苯甲醚（安全的溶剂），然后过滤。传统曝光，直接写曝光或x-射线曝光使聚合物的断链，从而在光刻胶的曝光和未曝光区域之间产生溶解度差异，实现非常高分辨率的图像。

950 pmma a 4

positive radiation sensitive resist

4% in anisole

product no. m230004 lot no. 23100752

expiration nov-30-2024 manufactured oct-31-2023

certificate of analysis

kayaku advanced materials has completed the analysis of theabove lot of material

with the results listed below.

specification result

appearance clear, colorless clear, colorless

test method: qa003

solids content, % calculated 4.08

test method: qa085

viscosity at 25º c, cst 41.4 +/- 2.7 40.0

test method: qa004

solvent impurities by gc < 1.0 % 0.1%

test method: qa036

filtration level 0.2 mm 0.2 mm

pmma的分类

：

1）pmma 495 a系列

2）pmma 495 c系列

3）pmma 950 a系列

4）pmma 950 c系列

pmma特性：

1）溶剂：苯甲醚（a）和氯苯（c）

2）非常适合于电子束光刻和x射线曝光

3）高分辨率：<0.1um，pmma 950适用于高分辨率的应用，pmma 495则相对较低

4）广范围分子量和粘度

应用：电子束光刻、多层t-gate剥离、晶圆减薄等。