x射线荧光分析(xrf)

   x射线荧光分析(xrf)是一种用于量化固态和液态样品的元素组成的非破坏性的技术。x射线被用于激发样品上的原子，使之放射出带有存在的每种元素能量特征的x射线。然后测量这些x射线的能量及强度。xrf能够探测浓度范围从ppm到的na-u元素。通过使用适当的参考标准, xrf可以准确的量化固态和液态样品的元素组成。 通过使用适当的参考标准,xrf可以准确的量化固态和液态样品的元素组成。
xrf应用：
 定性、半定量元素分析 
 测量达到几个微米的金属薄膜的厚度
 金属合金的鉴定
xrf应用优点：
 分析速度高。测定用时与测定精密度有关，但一般都很短，2～5分钟就可以测完样品中的全部待测元素。
 非破坏性分析
 制样简单，固体、粉末、液体样品等都可以进行分析
 x射线荧光光谱跟样品的化学结合状态无关，而且跟固体、粉末、液体及晶质、非晶质等物质的状态也基本上没有关系。 
xrf应用局限性：
 不能探测比na轻的元素 
 难于作分析，故定量分析需要标样 
 无剖面成像能力
 容易受相互元素干扰和叠加峰影响
 能分析试样深度为10 µm至30 µm