日本倔场HORIBA质量流量控制器D700T

horiba在流体控制、汽化、分析设备和测量系统方面解决方案专为半导体和工业加工市场的各个阶段量身定制。

horiba的解决方案包括气体和液体质量流量控制器、液体汽化系统、自动液体补充系统、气体发生器、超纯水监测仪和化学浓度监测仪。

什么是质量流量控制器？

质量流量控制器根据以电信号发送的设定流量自动控制气体的流量，而不受使用条件或气体压力变化的影响。流量大致可分为两种：体积流量和质量流量。体积流量测量受环境温度和压力的影响。为了看到真实的流量，压力和温度条件需要是压力条件，因此提供更准确和稳定的流量测量和控制。当控制流量或建立自动化生产线时，我们的质量流量控制器作为设备广泛应用于工业领域。

在各种制造工艺和研究实验室中，horiba提供气体和液体的测量和可靠控制。horiba是公认的高性能质量流量计、质量流量控制器、自动压力控制器和液体汽化系统的生产者，其产品广泛应用于半导体制造行业。

horiba流量控制器结构及工作原理

这些质量流量控制器具有流量测量部分，其中包括传感器、旁路、流量控制阀和特殊电路。

气体从入口接头输入，并被分流，流过流量传感器和旁路。传感器测量气体的质量流量，流量控制阀修改流量，使得测量的流量与从外部流量设定信号接收的流量之间的差值为0（零）。

该装置具有回路，因此即使存在二次压力变化或环境温度变化可能影响引入气体的供应压力，流量也会立即修正，从而确保稳定的流量控制。

horiba工作原理

1、从入口进入的气体首先分裂流过传感器或通过旁路。

2、在传感器处，质量流量被检测为温度的成比例变化，并由桥电路转换为电信号。

3、该信号经过放大和校正电路，并以 0 至 5v 之间的线性电压输出。同时，也送至比较控制电路。

4、比较控制电路将流量设定信号与来自传感器的实际流量设定信号进行比较，并将差值信号发送至阀门驱动电路。

5、流量控制阀移动器适当地使所需流量设定点和流量输出信号之间的差异接近零。换句话说，该装置控制流量，使其始终处于设定的流量。

horiba数字质量流量控制器产品特点

这些质量流量控制器具有流量测量部分，其中包括传感器、旁路、流量控制阀和特殊电路。cpu是电路的一部分，这使得它具有多功能且高效。该装置具有回路，因此即使存在二次压力变化或环境温度变化可能影响引入气体的供应压力，流量也会立即修正，从而确保稳定的流量控制。

液体质量流量控制 测量原理

冷却测量方法

lf-f/lv-f系列液体精细质量流量控制器中的流量传感器由与毛细管接触的电子冷却元件（珀耳帖元件）以及多个温度检测元件组成。当液体流动时，传感器检测与流量相对应的温升（⊗t），并将其显示为流量。与加热方法不同，这种冷却方法可以测量低沸点液体的流量。它还可以防止由于二次放电（蒸发）的影响而产生的干扰问题，并实现流量测量。

结构/工作原理

lv-f系列质量流量控制器与lf-f系列质量流量计类似，但还具有压电执行器阀和内部比较控制电路。它们比较流量设定信号和流量输出信号，并自动控制阀门孔径，使两个信号匹配。由于它们使用反馈控制系统，因此不会因外部因素而导致流量变化，因此可以进行稳定控制。使用既稳定又不产生热量的压电执行器阀作为控制阀，使这些装置非常适合低沸点液体的流量控制。

气液混合法

这是 mi/mv系列中使用的汽化方法。由于进样器内喷嘴前端的载气压力较高，因此可以有效加热。液体源和加热的载气在喷嘴前面的气/液混合区域混合在一起，当它们通过喷嘴时压力降低，使混合物蒸发。汽化效率高于传统汽化方法。当采用这种方法时，可以产生较大的流量，并且可以降低产生温度。

主要系列：d700uf、d700t、d700mg、d700wr、d500、sec-z700s、sec-z500x、sec-n100、sec-e、sec-8000f/d/e、sec-400、ur-z700、fs-3000、ec-5000