半导体机器人｜晶圆搬运机器人维修看过来

半导体机械手，也叫半导体晶圆传输机器人（semiconductor wafer transferrobots），主要适应于集成电路、芯片制造等半导体前段工序，用来搬送晶圆。机械手通常应用在磨削、抛光、刻蚀、扩散、沉积、装配、包装和测试等的半导体加工步骤中，用于对半导体晶片进行传输与定位。

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技术特征：

1.一种苏州晶圆搬运机器人，其特征在于，所述南京晶圆搬运机器人包括水平臂、垂直臂、垂直度检测模块及升降装置，所述水平臂一端与垂直臂相连接；所述垂直度检测模块设置于所述垂直臂上，用于检测所述垂直臂的垂直状态；所述升降装置与所述垂直臂相连接，用于驱动所述垂直臂上下升降。

2.根据权利要求1所述的合肥晶圆搬运机器人，其特征在于，所述北京晶圆搬运机器人还包括垂直基座，所述垂直臂位于所述垂直基座内。

3.根据权利要求2所述的深圳晶圆搬运机器人，其特征在于，所述升降装置包括升降电机、连接组件和导向结构，所述升降装置通过连接组件与所述垂直臂相连接，所述导向结构平行间隔设置于所述垂直臂的侧面，且与垂直臂相连接。

4.根据权利要求1所述的晶圆搬运机器人，其特征在于，所述苏州晶圆搬运机器人还包括显示装置，所述显示装置与所述垂直度检测模块相连接。

5.根据权利要求1所述的湖南晶圆搬运机器人，其特征在于，所述佛山晶圆搬运机器人还包括夹持部以及用于检测所述夹持部和/或水平臂的水平度的水平检测模块，所述夹持部与所述水平臂背离垂直臂的一端相连接。

晶圆搬运机器人是半导体制造过程中的关键设备之一，其稳定运行对于保证生产效率和产品质量至关重要。通过联系子锐机器人维修定制结合预防性维护计划，可以有效地提高机器人的使用寿命和可靠性，从而为企业创造更大的价值。