由于原子的能级很多，原子在被激发后，其外层电子可有不同的跃迁，但这些跃迁应遵循一定的规则(即“光谱选律”)，因此对特定元素的原子可产生一系列不同波长的特征光谱线，这些谱线按一定的顺序排列，并保持一定的强度比例。光谱分析就是从识别这些元素的特征光谱来鉴别元素的存在(定性分析)，而这些光谱线的强度又与试样中该元素的含量有关，因此又可利用这些谱线的强度来测定元素的含量(定量分析)。
近几年，一直备受关注的欧盟强制性标准——《关于限制在电子电器设备中使用某些有害成分的指令》rohs指令，相对于旧版，多将新版欧洲 rohs 指令称作 rohs2.0），在的颁布稿中也将邻苯二甲酸
二(2-已)酯(dehp)、邻苯二甲酸二丁酯（dbp）、邻苯二甲酸丁苄酯（bbp）和(dibp)，这 4种物质添加为限制使用物质。这些物质分别以均质材料中 0.1%为允许浓度，于 2019 年 7 月 22 日起实施。该指令实施后，在eu 上市的所有电气和电子设备（以及监视控制设备除外）及其下游供应商生产的零部件、原材料和包装件等均涉及到dehp、dbp、bbp、dibp 含量的检测。
射线管发射具有高能量的粒子束照射样品， 当其能量大于样品原子中某一轨道电子的结合能时， 便可将该轨道的电子逐出， 形成空穴，即时外层电子跃向空穴，cs995型红外碳硫分析仪， 电子轨道层的能量差将以特征x射线荧光逸出原子， 其能量差与原子序数相对应，以此能谱的峰位和净强度进行定性和定量分析。依据rohs检测中元素的特点以及大量实际检测经验，能量色散x射线荧光光谱仪因其激发源采用较大功率的rh靶来产生特征x射线激发样品原子中k层l层谱线， 可降低背景
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