成都真空设备厂家 surpass复合磁控溅射镀膜机 离子轰击系统 充气系统 在线测量系统 可定制
- 供应商
- 成都汉普升科技有限公司
- 认证
- 报价
- ¥1000000.00元每套
- 手机号
- 13683458179
- 联系人
- 向世玲
- 所在地
- 四川省成都经济技术开发区(龙泉驿)车城西二路288号派瑞国际4栋5楼
- 更新时间
- 2023-11-13 13:44
●设备主要由真空腔体、真空系统、工件盘系统、烘烤系统、溅射系统、过渡仓、磁力机械手、离子轰击系统、充气系统和在线测量系统组成,同时匹配空气压缩气体气源和水冷系统,可根据客户使用需求定制。
●真空腔体:φ650x700双层水冷;(可根据实际需求定制)
●真空系统:分子泵+低温泵+罗茨泵+机械泵复合真空系统;
●真空抽速:1600l/s,进口全量程复合真空计,全金属防爆真空规;
●极限真空:6.7x10-5pa;(根据客户选择主泵确定)
●磁控靶组件:4个矩形靶,3个圆形靶,根据客户实际需要匹配中频、射频、脉冲直流溅射电源;
●离子源:1套线性离子源,匹配专用电源;
●气路:4路反应气体,进口质量流量计,1路毛细保护气路;
●烘烤温度:300℃,不锈钢铠装加热器,可拆卸快装结构;
●工件盘:导轨多工位行星工件盘2套,工件盘装夹移动小车一辆;
●控制系统:西门子plc+西门子人机界面+工业控制计算机。
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