桌面型快速退火炉RTP-Table-6

桌面型快速退火炉标配三组工艺气体，可测单晶片样品的zui大尺寸为6英寸（150mm），采用平行气路进气方式，气体的进入口设置在wafer表面，避免退火过程中冷点产生，保证产品良好的温度均匀性。