乙二胺四亚甲基膦酸 EDTMP 半导体芯片清洗剂

乙二胺四亚甲基膦酸-edtmp

别名：乙二胺四甲叉膦酸、亚乙基二胺四甲叉膦酸

英文简称：edtmp

分子式：c6h20o12n2p4

相对分子质量：436

cas 编号：1429-50-1

性能：常温下edtmp为白色结晶性粉末，熔点215-217℃，微溶于水，在室温下溶解度小于5%，易溶于氨水。

用途:edtmp具有很强的螯合金属离子的能力。edtmp为高纯试剂且无毒，在电子行业可作为半导体芯片的清洗剂用于制造集成电路。