准分子(excimer)激光：准分子一词的本意，是「两个同种原子组成，密封束激光气，而只存在于受激态的分子」，如稀有气体分子he2、ar2、xe2等；其英文原名为excited dimer组合成的术语。现在现已将它的适用范围放宽，以包含「不存在于基态，只以受激态出现的任何双原子分子(有时还包含三原子分子)」。au，cu，ba，sn，pb，zn等金属的蒸汽，都是中性原子激光的自动介质。它们的蒸汽中，常混入低压力的惰性气体，以提高放电效率。激光切割机所用气体的种类和作用：1）空气：①作为切割气体使用②作为冷却切使用③作为光路内部除尘使用（保护镜片延长镜片的使用时间）2）普氧：作为切割碳钢的气体（助燃性）纯度99.5%3）纯氮：作为切割不锈钢的气体（冷却性）纯度99.9%（切割碳钢速度为3/4）4）高纯氮：作为激光器的使用气体，纯度：99.999%5）高纯氦：作为激光器的使用气体，纯度：99.999%6）高纯二氧化碳：作为激光器的使用气体，纯度：99.999%；
常用的激光焊接保护气体主要有n2、ar、he，其物化性质各有差异，也因此对焊缝的作用效果也各不相同。au，cu，ba，sn，pb，zn等金属的蒸汽，都是中性原子激光的自动介质。它们的蒸汽中，常混入低压力的惰性气体，以提高放电效率。气体激光器的重要特点之一，激光工作物质是混合气或单一纯气体。由于激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能，特别是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损，还会引起激光发射的不稳定。因此，对激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。如果将氦(he)氖(ne)激光作为代气体激光，二氧化碳激光是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(krf)激光，可称为第三代激光。
激光混合气中的发生气体是激光发生器上用来产生激光的气体，对气体质量要求高，激光混合气配制精度要求高，高纯二氧化碳纯度达99.999%，高纯氮气的纯度99.999%，高纯氦气的纯度要求99.999%，二氧化碳是产生激光的，氦气是冷却激光器的，氮气是平衡气体，气体中的水分、氧份、有机气体杂质对激光机的镜片损伤特别大，能快速减少镜片的寿命。所以激光机对这些气体的质量要求特别高。激光切割辅助气体主要是干燥空气、高纯氮气或工业氧气，当切割不锈钢板或是切割铝板时一般使用高纯氮气作为辅助气体，一般压力要求比较高。目元激光混合气体的方案组成比例：co:4%，co2：8%，he:28%，n2:60%。这种四元激光混合气体可以是二维激光切割机床达到输出功率，并且切割钢板厚度达到25mm，还可以更好的保证工件质量。
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