智能石英管清洗机

石英管清洗机主要采用手动搬运方式，通过对扩散、外延等设备的石英管、碳化硅管腐蚀、漂洗等方式进行处理，从而达到一个用户要求的清洗效果。主体采用pp板，骨架采用不锈钢外包pp防腐板；适用于各种规格石英管、石英器皿及其它工件的清洗和干燥；适用于各种规格石英管、石英器皿及其它工件的清洗和干燥。

石英管清洗机可根据客户需求定制，可根据不同规格型号的石英工件，可选择上/下喷药液、旋转、氮气鼓泡、热氮干燥等形式，有效取出石英工件上的各种粘污；

特点：

1.腐蚀漂洗能力强，性能稳定，安全可靠；

2.设备成本合理，自动化程度高，使用成本低；

3.技术先进，结构合理，适宜生产线上大批次操作。

石英管清洗机上层电器控制系统及抽风系统，中层工作区，下层为管道安装维修区，主体结构由清洗机主体、酸洗槽、水清洗槽、防漏盘、抽风系统、工件滚动系统、氮气鼓泡系统、支撑及旋转驱动机构、管路部分、电控部分。设备装有双防漏盘结构，并有防漏检测报警系统，在整台设备的底部装有接液盘。槽体下方配有倾斜式防漏层。

石英管清洗机功能说明：

制程均匀度可用 recipe调控。

良率优于 wet benchtype。

石英管清洗机单片模式之机况可控制可追溯。

制程个别参数易于调整。

可控制之药液量使用,能保持每片晶片之相同制程环境。

石英管清洗机洁净度控制优于批次生产。

footprint较小。

这用于 wafer dry in / dryout制程。

机台之安全性优于 benchtype。

为未来湿式高阶设备之主流机台。

石英管清洗机清洗工艺流程：

　　检查水、电、气正常→启动电源→人工上料→注酸→槽体底部氮气鼓泡→石英管转动（7转/min）→进入酸泡程序→自动排酸(到储酸箱)→槽体底部自动注水（同时气动碟阀关闭）→悬浮颗粒物经过溢流坝流出→排水碟阀打开（重颗粒杂质排出）→初级洁净水经过溢流坝溢出→清洗次数重复循环（人工控制）→下料。