ICP-OES元素分析 XRF元素，定量、定性分析

icp--物质元素

icp是电感耦合等离子谱仪。根据检测器的不同分为icp-oes（电感耦合等离子发射光谱仪，也称icp-aes）和icp-ms（电感耦合等离子质谱仪）。两者均能测元素周期表中的绝大部分元素，但能测得元素稍微有异，检测能力上后者要比前者高。因为icp光源具有良好的原子化、激发和电离能力，所以它具有很好的检出限。对于多数元素，其检出限一般为0.1～100ng/ml，可以同时测试多种元素，灵敏度高，检测限低，测试范围宽（低含量成分和高含量成分能够同时测试）。

icp-oes可同时分析常量和痕量组分，无需繁复的双向观测，还能同时读出、无任何谱线缺失的全谱、直读等离子体发射光谱仪，具有检出限极低、重现性好，分析元素多等显著特点，icp-oes大部份元素的检出限为1～10ppb，一些元素也可得到亚ppb级的检出限。icp-oes的检测元素如下图：

icp-ms电感耦合等离子体质谱仪以质谱仪作为检测器，通过将样品转化为运动的气态离子并按质荷比（m/z）大小进行分离并记录其信息来分析。若其所得结果以图谱表达，即所谓的质谱图。icp-ms的进样部分及等离子体和icp-aes的是极其相似的。但icp-ms测量的是离子质谱，提供在3～250amu范围内每一个原子质量单位（amu）的信息。还可进行同位素测定。

icp-ms具有极低的检出限，其溶液的检出限大部分为ppt级，石墨炉aas的检出限为亚ppb级，但由于icp-ms的耐盐量较差，icp-ms的检出限实际上会变差多达50倍，一些轻元素（如s、ca、fe、k、se）在icp-ms中有严重的干扰，其实际检出限也很差。icp-ms的检测元素和检测极限如下图：

xrf--物质元素，定量、定性分析

xrf指的是x射线荧光光谱仪，可以快速同时对多元素进行测定的仪器。在x射线激发下，被测元素原子的内层电子发生能级跃迁而发出次级x射线（x-荧光）。只能测元素单质和氧化物形式。但由于xrf是表面化学分析，故测得的样品必须满足很多条件，比如表面光滑、成分均匀。如果成分不均匀，只能说明在xrf测量的那个微区的成分如此，其他的不能表示。

xrf的优点：分析速度高、非破坏性、分析精密度高，固体、粉末、液体样品等都可以进行分析。测试元素范围大、可定量分析材料元素组成、分辨率高。

xrf和icp常用作成分的定量分析，其中xrf用物理方法检测而icp用化学方法进行测试。相对xrf，icp的检测范围更宽，检测极限更低，检测出的数据更准确。eds和wds常用作电镜的附件进行成分分析，但多作为半定量分析，仅可以看出各个元素的比值和大概分布情况及含量，准确性不如xrf和icp。