昆山半导体废气处理设备 技术指导

　　在石油化工、印刷、人造革及电子元器件、烤漆和医药等化工领域，挥发性的有机化合物，简称为vocs，通常作为溶剂来使用。这些有机溶剂如果挥发到大气环境中，不仅会对大气环境造成严重污染，而且人体呼入被污染的气体后，对人体健康产生危害。

　　随着工业技术的发展和环保意识的提高，各个国家对于vocs废气的治理越发严格，整理出当下比较常用的几种vocs废气处理方法。

　　1、uv光解催化氧化设备

　　uv光氧催化氧化利用特制的高能高臭氧uv紫外线光束照射废气，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，与臭氧进行反应生成低分子化合物，如co2、h2o等。投资费用低，适用范围广，净化效率高，操作简单，除臭效果好，设备运行稳定，占地小，运行费用低，随用随开，不会造成二次污染。

　　2、等离子废气处理设备

　　低温等离子体内部产生富含高化学活性的粒子，如电子、离子、自由基和激发态分子等。废气中的污染物质与这些具有较高能量的活性基团发生反应，终转化为co?和h?o等物质，从而达到净化废气的目的。适用范围广，净化效率高，尤其适用于其他方法难以处理的多组分恶臭、有机废气、设备占地面积小；电子能量高，几乎可以和所有的恶臭、有机废气分子作用；运行费用低；反应快，停止十分迅速，随用随开。但对含水、含尘、有机废气易爆炸，一次性投资费高。

　　3、活性炭吸附法

　　活性碳吸附系统:包括吸附箱本体、活性碳、泄压装置、温度传感器、消防喷淋装置、仪表阀门等。

　　①由于脱附再生时活性碳床内有高温气体，所以吸附床采用双层隔热措施，吸附床内胆由3mm碳钢材料制作,外表由2mm碳钢材料制作。

　　②由于活性碳和吸附的溶剂都是易燃物品，所以在活性炭吸附器上设置泄压装置。活性炭吸附器内的压力正常状况下小于0.01mpa,为了保护设备，我们设置的泄压装置的泄压压力为0.01mpa.。

　　③为了保护设备，吸附箱上设置喷淋装置，当温度超过极限设定值时，电柜就会声光报警，同时喷淋装置就会立即启动，进行喷淋灭火。

　　④吸附床的吸附进（出）风阀和再生进（出）阀门均采用气动阀门，此阀门密闭性好、开启灵活、维修方便、坚固耐用。

　　⑤吸附箱上设置温度传感器,传感器监测吸附箱内温度，输出信号。

　　⑥活性碳：

　　◎吸附活性碳选用蜂窝状活性碳,活性碳的规格：100×100×100

　　◎蜂窝状活性碳比表面积大，吸附能力强。

　　◎蜂窝状活性碳流体阻力小，运行更省电。

　　◎活性碳填充量：活性碳的质量和数量决定废气处理设备净化效率的高低，所以要在保证活性碳质量的基础上，合理配置活性碳的填量。