芯片老化检验,零部件清洁度测试

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无锡市经开区太湖湾信息技术产业园16楼
更新时间
2024-09-21 11:00

详细介绍

芯片老化检验,零部件清洁度测试

芯片测试分为如下几类:

1. wat:wafer acceptancetest,wafer level 的管芯或结构测试;

2. cp:chip probing,wafer level 的电路测试含功能;

3. ft:final test,device level 的电路测试含功能。


cp测试

cp是wafer level的chipprobing,是整个wafer工艺,包括backgrinding和backmetal(ifneed),对一些基本器件参数的测试,如vt(阈值电压),rdson(导通电阻),bvdss(源漏击穿电压),igss(栅源漏电流),idss(漏源漏电流)等,一般测试机台的电压和功率不会很高;


cp 测试对memory来说还有一个非常重要的作用,那就是通过mra计算出chip level 的repairaddress,通过laser repair将cp测试中的repairable die修补回来,这样保证了yield和reliability两方面的提升。


cp是对wafer进行测试,能把坏的die挑出来,可以减少封装和测试的成本。可以更直接的知道wafer的良率。cp测试可检查fab厂制造的工艺水平。


现在对于一般的wafer工艺,很多公司多把cp给省了;减少成本。


ft测试

ft是packaged chip level的finaltest,主要是对于这个(cppassed)ic或device芯片应用方面的测试,有些甚至是待机测试;ft是把坏的chip挑出来;检验封装的良率。通过ft可检验封装厂制造的工艺水平。


而ft则对封装好的chip来测试。cp pass 才会去封装。然后ft,确保封装后也pass。


wat

wat是wafer acceptancetest,对专门的测试图形(testkey)的测试,通过电参数来监控各步工艺是否正常和稳定;


对于测试项来说,有些测试项在cp时会进行测试,在ft时就不用再次进行测试了,节省了ft测试时间;但是有些测试项必须在ft时才进行测试(不同的设计公司会有不同的要求)

一般来说,cp测试的项目比较多,比较全;ft测的项目比较少,但都是关键项目,条件严格。但也有很多公司只做ft不做cp(如果ft和封装yield高的话,cp就失去意义了)。

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芯片老化检验,零部件清洁度测试

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