扫描电镜检测 广州粉体微观结构检测
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- 广东省广分质检检测有限公司
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- 经理
- 唐俊
- 所在地
- 广州市番禺区南村镇新基村新基大道1号金科工业园2栋1层101检测中心
- 更新时间
- 2024-09-28 09:00
扫描电镜检测 广州粉体微观结构检测
扫描电子显微镜(sem)是用细聚焦的高能电子束轰击试样表面,通过电子与试样相互作用产生的二次电子、背散射电子信息对试样表面或断口进行微区形貌及结构的观察。现在的sem一般都与eds组合,利用eds进行元素成分定性、定量分析;可应用于材料高分辨成像、电子产品如pcb板/fpc、半导体,光电材料、通讯行业材料形貌/腐蚀/微污染分析,微区元素打点分析/特定元素沿深度方向的线扫描,元素的面分布。
扫描电子显微镜的原理是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的入射电子轰击物质表面时,被激发的区域将产生二次电子、x光信号、背散射电子、透射电子, 以及在可见、 紫外、红外光区域产生的电磁辐射。根据信号强度组成形貌照片,能高倍率观察表面外观形貌。原则上讲,利用电子和物质的相互作用,可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息。
能谱仪的工作原理:探头接受特征x射线信号→把特征x射线光信号转变成具有不同高度的电脉冲信号→放大器放大信号→多道脉冲分析器把代表不同能量(波长)x射线的脉冲信号按高度编入不同频道→在荧光屏上显示谱线→利用计算机进行定性和定量计算。能谱仪通常作为扫描电子显微镜的附属配件,搭配扫描电子显微镜使用。
通过扫描电子显微镜和搭配使用的能谱仪,可以用来观测芯片内部层次和测量各层厚度、观测并拍摄局部异常照片和测量异常尺寸、测量芯片关键尺寸线宽和孔径、定性和定量分析异常污染物的化学元素组成。
sem/eds分析手段————————————————————————————————————————————————————
主要用于无机材料微结构与微区组成的分析和研究,仪器的功能包括:
(1)电子衍射:选区衍射、微束衍射、会聚束衍射;
(2)成像:明场像(bf)、暗场像(df)、衍射像、高分辨像(hrem)、扫描透射像,环角暗场像(haadf);
(3)微区成分:eds能谱的点、线和面分析;
sem/eds应用范围
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(1)材料范围:除磁性材料之外的任何无机材料,包括粉体、薄膜和块材;不适用于有机和生物材料。
(2)表征范围:微观形貌、颗粒尺寸、微区组成、元素分布、元素价态和化学键、晶体结构、相组成、结构缺陷、晶界结构和组成等。
送样须知
粉末样品基本要求
(1)单颗粉末尺寸**小于1μm;
(2)无磁性;
(3)以无机成分为主,否则会造成电镜严重的污染,高压跳掉,甚至击坏高压枪;
块状样品基本要求
(1)需要电解减薄或离子减薄,获得几十纳米的薄区才能观察;
(2)如晶粒尺寸小于1μm,也可用破碎等机械方法制成粉末来观察;
(3)无磁性;
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