自动晶圆单面刷洗机
- 供应商
- 深圳市通利达自动化设备有限公司
- 认证
- 报价
- ¥350000.00元每台
- 联系电话
- 0755-27524017
- 手机号
- 15817282530
- 经理
- 李生
- 所在地
- 深圳市龙华区大浪街道同胜社区三合华侨新村11号7层A7
- 更新时间
- 2023-11-04 00:00
全自动晶圆单面刷洗机有效去除硅片晶圆表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、塑料等附件器皿的污染物,且不破坏晶片表面特性。根据不同清洗工艺配置相应的清洗单元,各部分有独立控制,随意组合。
全自动晶圆单面刷洗机结构:
采用三套独立的电脑控制机械臂自动化作业
采用第三代*新技术,全面完善的防酸防腐措施,保护到机器每一个角落
*新全自动补液技术
全自动晶圆单面刷洗机独特的硅片干燥前处理技术,保证硅片干燥不留任何水痕
成熟的硅片干燥工艺,多种先进技术集于一身
彩色大屏幕人机界面操作,方便参数设置多工艺方式转换
全自动晶圆单面刷洗机特点:
械手或多机械手组合,实现工位工艺要求。
plc全程序控制与触摸屏操作界面,操作便利。
自动上下料台,准确上卸工件。
全自动晶圆单面刷洗机净化烘干槽,独特的烘干前处理技术,工作干燥无水渍。
全封闭外壳与抽风系统,确保良好工作环境。
具备抛动清洗功能,保证清洗均匀。
全封闭清洗均匀。
全封闭外壳与抽风系统,确保良好工作环境。
全自动晶圆单面刷洗机应用范围:
炉前清洗:扩散前清洗。
全自动晶圆单面刷洗机光刻后清洗:除去光刻胶。
氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面所有的沾污物。
抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的沾污。
全自动晶圆单面刷洗机外延前清洗:除去埋层扩散后的sio2及表面污物。
合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及光胶残渣。
离子注入后的清洗:除去光刻胶,sio2层。
扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的bsg和psg。
cvd后清洗:除去cvd过程中的颗粒。
全自动晶圆单面刷洗机附件及工具的清洗:除去表面所有的沾污物
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