全自动晶圆氧化清洗机
- 供应商
- 深圳市科圣达超声波自动化设备有限公司
- 认证
- 报价
- ¥300000.00元每台
- 手机号
- 13823746941
- 业务经理
- 李金友
- 所在地
- 深圳市龙华新区大浪街道浪口二路92号3楼
- 更新时间
- 2023-11-04 05:31
全自动晶圆氧化清洗机清洗功能:
晶圆片
蓝宝石外延片
晶圆框架上的芯片
显示面板
ito膜显示材料
有图形掩膜和无图形掩膜
掩膜坯料
薄膜式掩膜
接触式掩膜
全自动晶圆氧化清洗机光刻处理工艺:
spm剥离
光刻胶涂膜
光刻胶剥离工艺
全自动晶圆氧化清洗机白骨化清洗:
刻蚀:
金属刻蚀(铝,铜,铬,钛)
在晶圆片上注射硫酸和双氧水的混合液
红外加热
全自动晶圆氧化清洗机刷洗
兆声双氧水清洗
热氮和甩干
特点:
针对21英寸外径或15x15英寸的基底
全自动晶圆氧化清洗机巨声环境清洗舱(可配备去离子水, 清洗刷, 热去离子水, 高压去离子水, 热氮气)
化学注射臂
带化学喷射的可变速清洗刷
触屏用户界面
手动上下载
安全锁和报警器
全自动晶圆氧化清洗机占地尺寸30”d x 26”w
可选配项:
化学试剂传送单元
全自动晶圆氧化清洗机白骨化清洗
臭氧发生器
氢化双氧水发生器
高压双氧单元
硫酸氢过氧化物
红外加热
全自动晶圆氧化清洗机双氧水循环装置
机械手上下载单元
带efem和smif界面的 集群系统
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