自动晶圆退火前清洗机

全自动晶圆退火前清洗机设计的系统，独立系统，占地面积小，非常适合有限的空间。具有4路化学液清洗，兆声清洗，双面pva刷洗，去离子水冲洗等清洗模块，对晶圆有**的清洗能力。

全自动晶圆退火前清洗机产品特色：

晶圆*大 300mm

pva双面刷洗

支持4路化学液清洗，包括氨水与sci液体

全自动晶圆退火前清洗机工作台含驱动组件，用于晶圆低速旋转（50-100rpm）

化学清洗臂含 4 路化学液

具有去离子水和稀释氨分配的水坑喷嘴

具有去离子水的 bsr（背面冲洗）喷嘴

全自动晶圆退火前清洗机具有带有流通孔的工艺室

标配三种不同化学品供应系统

工艺室外的手动去离子水枪。

化学液可加热，*高可达 60°c（*高85°c ）

外部可更换化学液

全自动晶圆退火前清洗机支持兆声清洗

支持高压等离子水冲洗

全自动晶圆退火前清洗机技术数据：

衬底尺寸: Ø200 mm (Ø8inch) 或 Ø300 mm (Ø12 inch)

电机转速: *大 3.000 rpm, 步长 1rpm

电机加速: 1 至 999.9 秒，步长 0.1 s

全自动晶圆退火前清洗机工艺腔室: 由 pp 白色制成（可选 pvdf)