分析高分子材料成分，eds分析价格

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扫描电镜主要应用于对样品微区形貌，结构与组成进行观察与分析。它以分辨率高，景深好和操作简单而被广泛应用于材料学，物理学，化学，生物学，考古学，地矿学和微电子工业。

文章根据多年扫描电镜测试工作经验，对扫描电镜基本原理，结构，优点及其实际应用等方面进行阐述，以期对扫描电镜初学者和从业者充分理解与运用扫描电镜有所帮助。

伴随着现代科学技术的进步，一大批科研工作者把研究方向聚焦于探索微观世界。 但是，单凭人眼分辨率（约为0.2mm）是达不到要求的。各种带放大功能的显微镜被提出来，以观测更加微观的世界和分析更加细微的细节。首先出现的是光学显微镜。光学显微镜的分辨率用瑞利公式表示如下：

式中 ，λ为波长 ，n为折射率，α为孔径角。在上述公式中，入射波长λ是影响光学显微镜分辨率的主要因素。然而，受可见光波长范围（400～760nm）的限制，光学显微镜的极限分辨率约为200nm。为了突破光学显微镜分辨本领的极限，科学家利用波粒二象性原理（即电子在加速电压下运动，其波长可达可见光波长的十万分之一），以加速电子充当新光源制备了高分辨率的扫描电子显微镜，以下简称扫描电镜。

1. 扫描电镜的基本原理

扫描电镜（sem）是用电子枪射出电子束聚焦后在样品表面上做光栅状扫描的一种方法，它通过探测电子作用于样品所产生的信号来观察并分析样品表面的组成，形态和结构。入射电子作用于样品会激发多种信息，如二次电子，背散射电子，吸收电子，俄歇电子，阴极荧光，特征x射线（见图1）等等。扫描电镜（sem）主要是通过二次电子，背散射电子和特征x射线（xrd）信号来分析试样表面特性。

图1. 电子与试样相互作用产生的各种信号