三氯氢硅 美国 分析纯 99.99(%)

供应商
芜湖爱康尼克气体有限公司
认证
产商/产地
美国
产品等级
分析纯
含量
99.99(%)
联系人
李景硕
所在地
中国 广东 深圳市罗湖区 沿河南路1181号瑞丰大厦6C

详细介绍

产商/产地:美国产品等级:分析纯含量:99.99(%)
执行质量标准:cas:10025-78-2

容器信息

气瓶尺寸

容量

压力(21.1℃)

出口阀

交通运输部运输说明

交通运输部运输标签

交通运输部指导号

cas登记号

10.3psig

swagelok,vco,vcr

三氯氢硅

4.3,un 1295

潮湿危险,易燃液体,腐蚀

38

10025-78-2

lb

kg

ss 210lp

ss 38lp

554

100

252

45.4

三氯氢硅中杂质

超大规模集成电路

99.99%小

电阻率

受主(b+al)

施主(p+as+pb)

总碳

其它氯硅烷

sih3cl

sih2cl2

sicl4

>1000 ohm-cm

<0.5ppba

<0.2ppba

<5ppma

<10ppm

<20ppm

<50ppm

物理性质

分子量

135.45

在空气中燃烧范围

7.0-83.0%

液体体密度

1.34g/l

沸点

31.9℃

熔点

--70℃

临界温度

242.5℃

临界压力

499.7psig

毒性

pel/tlv如hcl

lc50

5ppm

1040ppm

超大规模集成电路金属说明

元素

符号

液相

cr

<30

fe

<2

ni

<2

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