INFICON Quantus HP100气体分析仪

inficon 气体分析仪基于自等离子体光发射光谱技术（spoes），旨在提供半导体制造过程中的实时泄漏检测、端点检测和过程监控。具有出色的灵敏度，外形紧凑，提供宽广的操作压力范围，无需昂贵的泵，因此非常适合大多数半导体工具的过程监控和保护。

特点

氩气的操作范围为1 torr - 450 torr，氮气的操作范围为1 torr - 120torr（其他气体种类则有所不同）

低检测限<1 ppm

使用标准kf25连接，安装方便

快速采样（大20赫兹）

占地面积小（高x宽x长）：6.4 x 6.0 x 8.3 in. [162 x 153 x 210 mm］

低维护，不需要泵或消耗品

方便的现场可更换的等离子池

为您的特殊工艺需求提供全球专家支持

规格

操作压力1 torr - 450 torr (取决于应用)
光谱仪性能200至850纳米波长（紫外-可见光） 16位全尺度分辨率，3648像素
检测极限< 1 ppm (取决于应用)
曝光时间少1毫秒
真空配件kf25