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检测标准：

1 《微电子器件试验方法》gjb548b-2005方法1018.1/mil-std-883k:2016method1018.8 一氧化碳

2 《微电子器件试验方法》gjb548b-2005方法1018.1/mil-std-883k:2016method1018.8 二氧化碳

3 《微电子器件试验方法》gjb548b-2005方法1018.1/mil-std-883k:2016method1018.8 挥发性有机物

4 《微电子器件试验方法》gjb548b-2005方法1018.1/mil-std-883k:2016method1018.8 氢气

5 《微电子器件试验方法》gjb548b-2005方法1018.1/mil-std-883k:2016method1018.8 氧气

6 《微电子器件试验方法》gjb548b-2005方法1018.1/mil-std-883k:2016method1018.8 氮气

7 《微电子器件试验方法》gjb548b-2005方法1018.1/mil-std-883k:2016method1018.8 水汽含量

8 《微电子器件试验方法》gjb548b-2005方法1018.1/mil-std-883k:2016method1018.8 臭氧