微电子材料检测-材料分析及检测-检测服务检测
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- 更新时间
- 2023-04-24 09:39
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检测标准:
1 半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法 gb/t19199-2015 半绝缘砷化镓单晶中碳浓度
2 硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法 gb/t1553-2009 少子寿命
3 工业硅化学分析方法 第4部分:杂质元素含量的测定电感耦合等离子体原子发生光谱法 gb/t 工业硅中杂质元素含量
4 半导体单晶晶向测定方法 gb/t1555-2009 晶向
5 硅片弯曲度测试方法 gb/t6619-2009 晶片弯曲度
6 硅片翘曲度非接触式测试方法 gb/t6620-2009 晶片翘曲度
7 掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程gb/t 13389-2014 电阻率与掺杂剂浓度换算
8 砷化镓单晶ab微缺陷检验方法 gb/t18032-2000 砷化镓单晶ab微缺陷
9 半绝缘砷化镓单晶深施主el2浓度红外吸收测试方法gb/t 17170-2015 砷化镓单晶el2浓度
10 砷化镓单晶位错密度的测量方法 gb/t8760-2006 砷化镓单晶位错密度
11 砷化镓、磷化铟半导体材料参数测试方法 sj3244.1-1989 砷化镓和磷化铟材料霍尔系数
12 砷化镓单晶材料测试方法 gjb 1927-1994方法104 砷化镓材料杂质均匀性
13 半绝缘砷化镓剩余杂质浓度微区试验方法 sj20635-1997 方法101 砷化镓材料杂质浓度
14 半绝缘砷化镓剩余杂质浓度微区试验方法 sj20635-1997 方法102 砷化镓材料杂质浓度
15 半绝缘砷化镓剩余杂质浓度微区试验方法 sj20635-1997 方法104 砷化镓材料杂质浓度
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