热喷涂氧化钇粉 球形 99.99% 耐等离子刻蚀专用

一种团聚烧结型高纯度氧化钇喷涂材料，粒度分布受到严格控制，具有优越的流动性和喷射特性，氧化钇涂层在高温下也很稳定，并能抵抗许多活性熔融金属。氧化钇涂层具有优良的电气绝缘和抗等离子体腐蚀性，可应用于半导体制造中的等离子蚀刻机防护涂层、锂电池烧结匣钵、硬质合金石墨烧板等，可根据客户要求定制不同粒径的造粒氧化钇。

相关应用：

1、半导体行业：微电子刻蚀机或其它等离子刻蚀设备；

2、燃料电池：高温燃料电池电极涂层；

3、氧敏感传感器电解质涂层；

4、真空室壁、石墨模具内衬、发动机部件等。