广州能谱仪EDS检测 产品表面异物分析
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- 广州国检中心(运输鉴定、危险特性分类鉴定)部门
- 认证
- 联系电话
- 13609641229
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- 13609641229
- 联系人
- 王阳
- 所在地
- 广州市番禺区南村镇新基村新基大道东1号(2号厂房)1楼自编102房(注册地址)
- 更新时间
- 2023-03-30 16:50
能谱仪eds检测 产品表面异物分析
当材料及零部件表面出现未知物质,不能确定其成分及来源时,可以通过对异物进行微观形貌观察和成分分析进行判断。
分析方法:
根据样品实际情况,以下分析方法可供选用。
仪器名称 | 信号检测 | 元素测定 | 检测限 | 深度分辨率 | 适用范围 |
扫描电子显微镜(sem) | 二次及背向散射电子&x射线 | b-u (eds mode) | 0.1 - 1 at% | 0.5 - 3 μm (eds) | 高辨析率成像 元素微观分析及颗粒特征化描述 |
x射线能谱仪(eds) | 二次背向散射电子&x射线 | b-u | 0.1 – 1 at% | 0.5 – 3 μm | 小面积上的成像与元素组成;缺陷处元素的识别/绘图;颗粒分析 gt;300nm) |
显微红外显微镜(ftir) | 红外线吸收 | 分子群 | 0.1 - 1 wt% | 0.1 - 2.5 μm | 污染物分析中识别有机化合物的分子结构 识别有机颗粒、粉末、薄膜及液体(材料识别) 量化硅中氧和氢以及氮化硅晶圆中的氢 (si-h vs. n-h) 污染物分析(析取、除过气的产品,残余物) |
拉曼光谱(raman) | 拉曼散射 | 化学及分子键联资料 | >=1 wt% | 共焦模式 1到5 μm | 为污染物分析、材料分类以及张力力测量而识别有机和无机化合物的分子结构 拉曼,碳层特征 (石墨、金刚石 ) 非共价键联压焊(复合体、金属键联) 定位(随机v. 有组织的结构) |
俄歇电子能谱仪(aes) | 来自表面附近的auger电子 | li-u | 0.1-1%亚单层 | 20 – 200 ?侧面分布模式 | 缺陷分析;颗粒分析;表面分析;小面积深度剖面;薄膜成分分析 |
x射线光电子能谱仪(xps) | 来自表面原子附近的光电子 | li-u化学键联信息 | 0.01 - 1 at% sub-monolayer | 20 - 200 ?(剖析模式) 10 - 100 ? (表面分析) | 有机材料、无机材料、污点、残留物的表面分析 测量表面成分及化学状态信息 薄膜成份的深度剖面 硅 氧氮化物厚度和测量剂量 薄膜氧化物厚度测量(sio2, al2o3 等.) |
飞行时间二次离子质谱仪(tof-sims) | 分子和元素种类 | 整个周期表,加分子种类 | 107 - 1010at/cm2 sub-monolayer | 1 - 3 monolayers (static mode) | 有机材料和无机材料的表面微量分析 来自表面的大量光谱 表面离子成像 |
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