晶圆激光割圆机

供应商
首昂光电(上海)有限公司
认证
报价
29999.00元每件
手机号
13681672788
联系人
黄小姐
所在地
上海市奉贤区广丰路1110号
更新时间
2023-04-10 09:39

详细介绍

产品介绍:

1)控制系统由程序电脑主机构成,故障率低,可靠性强,操作简单,易于维护。

2)切割传动方式通过直线电机转动,提高设备切割精度。

3)切割马达采用高精度旋转马达。

4)切割采用切割头方式切割。

5)切割z轴在切割过程中可以自动下移设定距离(可以在程序界面里单独设定z轴速度和位移)。

6)可以实现圆切割和好线切割。

7)可以兼容切割8inch(200mm直径)/12inch(300mm直径)硅片。

8)加工时有安全窗口观察设备内部的加工情况,安全窗口激光透过率需保证操作人员的安全。


技术参数 :

技术规格

加工片子尺寸                             需要换切割载台                                      8寸、12寸       

切割深度                                  切穿  

激光器功率                               激光器出口出                 w                            50

工作台承载方式                         大理石  

                                              工作台行程                    mm                        150

                                              移动量解析度                 mm                       0.001

x轴                                         单步步进量                    mm                       0.001

                                              定位精度                       mm      (单一误差)0.004以内/5

                                              重复精度                       mm                        0.003

                                              工作台行程                     mm                        150

                                              移动量解析度                  mm                       0.001

y轴                                         单步步进量                     mm                       0.001

                                              定位精度                        mm      (单一误差)0.004以内/5

                                              重复精度                        mm                        0.003

其他规格:                               电源                               ac            两相220-240v50hz

                                              *大耗电量                     kw                           1.8

                                              压缩空气共给压力             mpa                      0.4-0.8

                                              排风量(工厂自备)         m³/min                       5

                                              设备尺寸(长x宽x高)      mm                

                                              设备重量                         kg                           995

                                              排风口口径                      mm                         100



应用范围:

该设备为硅片割圆设备,主要应用于大尺寸硅片切割成小尺寸硅片。


晶圆激光割圆机

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