深圳氦检漏检查纯度全项检测
- 供应商
- 江苏科海检验有限公司湖北分公司
- 认证
- 手机号
- 15651581130
- 联系人
- 方工
- 所在地
- 武汉东湖新技术开发区关南科技园现代国际设计城三期6幢8层1、2、3、4、5、6、7、8、9号N29(自贸区武汉片区)(注册地址)
- 更新时间
- 2024-05-29 09:00
氦质谱测漏是灵敏和无破坏性的确认系统密封性,环境安全性和产品质量的测试方法。机械式的干泵可以对vmb,气瓶柜,盘面和气体管道进行无污染的测试。在把系统交给客户使用前,对于二次配的气体管路进行氦测漏,进一步的确保整个系统的密封性。测漏服务业可以含盖对机台的chamber 抽真空,喷氦,然后进行机台内部的检测。特气管道氦检漏测试验收标准:
参考标准:gb 50646-2011 特种气体系统工程技术规范
1.氦检漏仪表应采用质谱型氦检测仪,其检测精度不得低于1x10-10mbar·1/s
2.特种气体系统氦检漏的泄露率应符合下列规定:
内向测漏法测定的泄露率不得大于1x10-9mbar·1/s
3.氦检漏发现的泄漏点经修补后,应重新经过气密性试验,合格后再按规定进行氦检漏;
4.所有可能泄漏点应用塑料袋进行隔离;
5.系统测试完毕,应充入高纯氮气或氩气,并进行吹扫。
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