1、设备名称：高真空蒸发镀膜机
2、设备品牌：昊光机电
3、配置：
3.1、真空抽气部分
莱宝粗抽泵+cti 10 on board冷凝泵
3.2、真空检测
inficon：bpg400真空规
3.3、蒸发系统控制及膜厚检测
1、蒸发控制器：运行+设定
2、触摸屏和电位器分别控制
3、电压、电流显示
4、晶控仪：控制蒸发电流大小，控制蒸发速率，显示厚度；mdc360或syscon2000
3.4气体控制：2路质量流量控制器mks1179a
4、使用领域
1、半导体：金属化
2、tft：金属导线
3、微结构：金属化
5、设备特点
1、高配置
2、高精度
3、高品质