供应Kalrez半导体行业专用密封
- 供应商
- 有谛工业科技(上海)有限公司
- 认证
- 报价
- ¥15.00元每件
- 材质
- 3M PTFE
- 型号
- AS568
- 产地
- 上海
- 手机号
- 17317357621
- 联系人
- 薄颖
- 所在地
- 上海市金山工业区亭卫公路6495弄168号5幢1楼5422室(注册地址)
- 更新时间
- 2022-11-21 15:20
有谛工业科技(上海)有限公司提供符合eit-semif57标准的ffkm全氟橡胶,fep包覆和peek聚醚醚酮材料制成的各种半导体产业密封元件。
半导体设备,半导体材料以及晶圆制造(wafer fabrication),晶圆测试(waferprobe/sorting),蚀刻,cmp,cvd、芯片封装(assemble),测试(test)及后期的成品(finishgoods)等相关设备工艺需要使用超高纯,低污染,低渗透,耐腐蚀,耐化学介质,耐等离子特性及压缩变形冷流功能优异的密封元件。其中典型应用包括阀门o型圈,门密封,腔密封以及橡胶金属腔体硫化连接。
应用场合
单晶炉,氧化炉,清洗机,蚀刻机etching,化学物理沉积cvd/pvd,抛光设备cmp。
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