通辽六氟乙烷组分解析
- 供应商
- 江苏科海检验有限公司湖北分公司
- 认证
- 手机号
- 15651581130
- 联系人
- 方工
- 所在地
- 武汉东湖新技术开发区关南科技园现代国际设计城三期6幢8层1、2、3、4、5、6、7、8、9号N29(自贸区武汉片区)(注册地址)
- 更新时间
- 2024-06-08 09:00
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应用
六氟乙烷可用于一种具多功能的蚀刻技术,常见于半导体之生产。它可用于金属硅化物及金属氧化物并相对其金属基质的选择性蚀刻。叧外,它亦用于蚀刻硅上的二氧化硅。
六氟乙烷可连同三氟甲烷一起用于制冷剂r508a(六氟乙烷占61%)及r508b(六氟乙烷占54%)。
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