MKS流量计 MKS传感器 MKS真空硅

美国mks instruments成立于1961年，作为半导体零部件的供应商，在气体、真空仪器及制程控制应用等方面有技术独到之处，美国mks instruments产品起源于压力测量和控制核心技术，延伸到材料递送、气体成分分析、静电荷控制、工艺控制、信息管理、电源和反应气体发生器及真空技术，其产品广泛地应用于各种半导体生产设备和制造过程中。
相关系列与型号介绍：621,622a,623a,627b,629b,722a,722b,631c,628,690a,626a,626b,722a,722b,901,912,910,m10b,
ax7690,ax3060,ax7610,ax2500,ax2600,ax7670,ax7680,ax7685,ax7645……
压力测量及控制
薄膜电容式高精度压力传感器（温度控制在45℃）
690a系列
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590a系列
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698a系列
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薄膜电容式高精度压力传感器（温度控制在15-200℃）
615a系列
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616a系列
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薄膜电容式压力传感器（工作在室温）
622b
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623b系列
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626b系列
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