PV-2000无接触硅片自动测试系统
- 供应商
- 北京合能阳光新能源技术有限公司
- 认证
- 是否提供加工定制
- 否
- 品牌
- 进口
- 型号
- PV2000
- 联系电话
- 010-60546837
- 手机号
- 13718294863
- 联系人
- 肖先生
- 所在地
- 北京市通州区工业开发区光华路16号综合楼A207
产品介绍:
pv-2000系列无接触硅片厚度ttv电阻率综合测试系统为太阳能/光伏硅片及其他材料提供快速、多通道的厚度、(总厚度变化)ttv、弯曲度及无接触电阻率测量功能。并提供基于tcp/ip的数据传输接口及基于windows的控制软件,用以进行在线及离线数据管理功能。
产品特点:
■使用mti instruments独有的推/拉电容探针技术
■每套系统提供多三个测量通道
■可进行大、小、平均厚度测量和ttv测量
■可进行翘曲度测量(需要3探头)
■用激光传感器进行线锯方向和深度监视(可选)
■集成数据采集和电气控制系统
■为工厂测量提供快速以太网通讯接口,速率为每秒5片
■可增加的直线厚度扫描数量
■与现有的硅片处理设备有数字i/o接口
■基于windows的控制软件提供离线和在线的数据监控
■提供标准及客户定制的探头
■提供基于windows的动态链接库用于与控制电脑集成
■无接触,用涡电流法测量硅片电阻率
技术参数:
■晶圆硅片测试尺寸:50mm- 300mm.
■厚度测试范围:1.7mm,可扩展到2.5mm.
■厚度测试精度:+/-0.25um
■厚度重复性精度:0.050um
■测量点直径:8mm
■ttv测试精度: +/-0.05um
■ttv重复性精度: 0.050um
■弯曲度测试范围:+/-500um [+/-850um]
■弯曲度测试精度:+/-2.0um
■弯曲度重复性精度:0.750um
■电阻率测量范围:0.1-50ohm-cm
■电阻率测量精度:2%
■电阻率测量重复精度:1%
■晶圆硅片类型:单晶或多晶硅
■可用在:切片后、磨片前、后,蚀刻,抛光以及出厂、入厂质量检测等
■平面/缺口:所有的半导体标准平面或缺口
■连续5点测量
典型客户:
美国,欧洲,亚洲及国内太阳能及半导体客户。
详情欢迎来电咨询:
北京合能阳光新能源技术有限公司
北京市通州区工业开发区光华路16号
电话:010-60546837-104传真:01060546837-608
联系人:肖经理qq:454972757
email:xiaozongyong@henergysolar.com
公司网站:https://www.henergysolar.com
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