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直接电解法　将硫、、一氯化硫、或等加入到无水中，六氟化硫公司，以镍为阳极进行电解即可制得六氟化硫。用与无水电解时，以镍作极，铁作阴极，温度为－10～20℃，电压为7～20v。电解产物应除去杂质;催化氧化法　金属氧化物为催化剂，于300℃下，用空气氧化，该法缺点是收率过低。热解法，在500～2000℃使sf4热解，但该法的转换率及收率皆低，采用微波放电分解sf4亦可。

采i矿工业用作反吸附剂，用于矿井煤尘中置换氧。高纯sf6还因其化学惰性、无毒、不燃及无腐蚀性，还被广泛应用于金属冶炼(如镁合金熔化炉保护气体)、航空航天、医i疗(xi光机、激光机)、气象(示踪分析)、化工(高i级汽车轮胎、新型灭火器)等。随着当今科技的发展，sf6涉及的领域不断扩展，被越来越多的基础领域和科技领域广泛应用。

在电弧作用下sf6的分解物如sf4，s2f2，sf2，sof2，六氟化硫实体商，so2f2，sof4和hf等，它们都有强烈的腐蚀性和毒性。因此在电力系统gis等应用sf6的工作场所，要加装sf6气体泄漏监测设备，sf6气体监测的主要方法有一下四种:

1)电化学技术(tgs830、tgs832)费加罗传感器或卤素气体传感器。

电化学技术的原理是被检测气体接触到200°c左右高温的催化剂表面，六氟化硫怎么样，并与之发生相应的化学反应，从而产生电信号的改变，以此来发现被检测气体。电化学技术其成本低、寿命长、结构简单，可以连续工作的特点。

2)高压击穿技术。

电i击穿技术是从sf6在电力上的典型应用--作为绝缘气体应用在gis开关柜中演变而来的。其工作原理是根据sf6气体绝缘的特性，从置于被检测空气中的高压电极间电压的变化来判断空气中是否含有sf6气体。因其结构相对简单，成本低，检测精度相对高的特点。

3)红外光谱技术(iac510)

红外光谱吸收技术(又称激光技术)的原理是sf6作为温室气体，对特定波段的红外光有很强烈的吸收特性。红外光谱技术的特点是成本高，结构复杂，灵敏度高，不受环境的影响和干扰，对环境的温度和湿度的变化所带来的检测误差很小，由于其是采用主动抽取测试点气体的原理，带来的效果是发现泄漏早，反应迅速。同时系统结构对工程实施中的布线也带来了很大的方便。

4)电子捕获ecd原理

电子捕获检测器(electron capture detector)，简称ecd。电子捕获检测器也是一种离子化检测器，它是一个有选择性的高灵敏度的检测器，它只对具有电负性的物质，六氟化硫，如含卤素、硫、磷、氮的物质有信号，物质的电负性越强，也就是电子吸收系数越大，检测器的灵敏度越高，而对电中性(无电负性)的物质，如烷烃等则无信号。

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