分立器件 苏州晶淼半导体 分立器件酸洗机
- 供应商
- 苏州晶淼半导体设备有限公司业务部
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- 苏州工业园区金海路34号
- 更新时间
- 2022-10-03 22:21
无机类异物清洗主要用水冲洗,但是水往往是以不同压力及形式冲洗在玻璃基板的表面。① hpmj—high pressuremicro jet,高压微粒喷射清洗技术,通过对水增压,在喷嘴处以高压水微粒形式,喷射在玻璃基板表面,达到去除表面大颗粒异物的目的。有些制程特性的需求,也可以和二氧化碳一起混合加入,形成二氧化碳水,即碳酸,分立器件腐蚀设备,让水可以导电,达到可以去除静电的目的。②aajet—aqua airjet,分立器件,水气二流体清洗技术。这种技术是把水和空气在一定的压力下,按照一定的比例从喷嘴中喷出。其中喷嘴的形式,有单个喷出扇形模式,也要直接采用slitnozzle模式,即喷出为水幕。第二种喷出形式在玻璃基板表面形成的压力较为均匀,不会对产品产生不良。③roller brush-旋转毛刷清洗技术,分立器件清洗设备,利用高速旋转的毛刷并增加适当的压入量,达到清洁玻璃表面异物的目的。
超声波清洗机分体式结构由三个主要部分构成 (1)清洗缸; (2)超声波制作生器; (3)超声波换能器;
超声波清洗设施通常可分为通用机型。
楷模的软磁器件超声波清洗设施介绍:被清洗物件从进料口可传动的不锈钢网带送人超声波清洗槽清洗,再经喷淋、烘干等工序后出料,实现被清洗物件可直接包装入库。
晶圆清洗机指硅片晶圆生产清洗工艺中,用于去除硅片晶圆表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、塑料等附件器皿的污染物,且不破坏晶片表面特性的设备。
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