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苏州晶淼半导体设备有限公司业务部
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联系人
王经理
所在地
苏州工业园区金海路34号
更新时间
2022-09-28 16:06

详细介绍






    rca清洗法:依靠溶剂、酸、表面活性剂和水,在不破坏晶圆表面特征的情况下通过喷射、净化、氧化、蚀刻和溶解晶片表面污染物、有机物及金属离子污染。在每次使用化学品后都要在超纯水(upw)中清洗。以下是常用清洗液及作用。

苏州晶淼半导体设备有限公司精良的产品质量是我们的根本,湖州晶片,超客户预期是我们的自我需求,晶片清洗设备,真诚守信是我们的原则,我们的目标是提升中国湿制程设备制造水平和服务者!





  rca清洗法:自从20世纪70年代rca清洗法问世之后,苏州晶片清洗机,几十年来被广泛采用。它的基本步骤初期只包括碱性氧化和酸性氧化两步,但目前使用的rca清洗大多包括四步,即先用含硫酸的酸性进行酸性氧化清洗,再用含胺的弱碱性进行碱清洗,接着用稀的qing氟酸溶液进行清洗,然后用含盐酸的酸性进行酸性氧化清洗,在每次清洗中间都要用超纯水(di水)进行漂洗,然后再用低沸点进行干燥。

 




rca清洗法  :

      人们使用的清洗方法没有可依据的标准和系统化。1965年,rca(美国无线电公司)研发了用于硅晶圆清洗的rca清洗法,并将其应用于rca元件制作上。该清洗法成为以后多种前后道清洗工艺流程的基础,以后大多数工厂中使用的清洗工艺基本是基于初期的rca清洗法。

苏州晶淼半导体设备有限公司致力于向客户提供湿法制程刻蚀设备、清洗设备、pp/pvc通风柜/厨、cds化学品集中供液系统解决方案。我们的产品广泛应用与微电子、半导体、光伏、光通信、led等行业及高等院校、研究所等等科技领域的生产和研发。 





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