单轴石英扰性加速度传感器

速度和加速度传感器的工作原理往往是利用了位移的求导数学变换得来的，与位移的检测密不可分。由于数学处理的迅速，通过积分变换也能够快速获取系统的位移。因此通过速度传感器和加速度传感器也能够获取系统准确的位移量。加速度计是一种电子传感器，单轴石英扰性加速度传感器，可以测量作用在物体上的加速度，以确定物体在空间中的位置并监视物体的运动。由于这种表面选用挠性支承技术所以称为石英挠性加速度计，且其结构与工艺大大简化，这种石英挠性加速度计已广泛运用于各类现代惯性系统中。单轴石英扰性加速度传感器工作原理及结构由温度系数低导磁性能好的软磁资料组成，磁钢选用导磁性能比较良好的永磁资料，用无心磨床加工。挠性的片的材料为温度性能好的石英玻璃，外形选用超声加工而成，挠性元件的加工一般选用化学腐蚀办法；也可以选用反响离子蚀刻工艺加工整个挠性的片，但造价很高。

石英挠性加速度传感器主要有3个重要的部分：石英摆片组件、电容式传感器以及伺服控制系统。石英挠性加速度计按其应用分为：船用，航空航天用，车载等。石英挠性加速度计实际上就是一种可以精度测量加速度的传感器，是加速度计大家族中的一员。石英挠性加速度计在线测试与分析系统-石英挠性加速度计评价指标主要由零偏和标度因数组成。长期监测石英挠性加速度计的输出特性，能有效地分析其性能退化过程。

石英挠性加速度计的挠性摆片由石英材料制成，结构简单，它没有象宝石轴承那样的摩擦效应和摩损特性，也没有象金属挠性杆那样的不稳定性和疲劳。其良好的稳定性，再加上小型化的混合伺服线路，使整个表具有体积小、精度高、抗冲击和价格低等优点。石英挠性加速度计用于载体的微重力测量系统和惯导系统中，并可用于的静态角度测量系统中。因此它近年来发展很快，已广泛应用于航空、飞弹、测斜、测震等领域。

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