中频磁控溅射电源
- 供应商
- 肇庆市翔兴电子设备制造有限公司
- 认证
- 报价
- ¥22800.00元每台
- 翔兴(功率)
- ZP-40KW
- 翔兴(电压)
- 0-800V/1000V
- 翔兴(电流)
- 0-50A
- 手机号
- 18929877836
- 联系人
- 梁远翔
- 所在地
- 肇庆市端州区黄岗双东南路三巷87号(住改商)
- 更新时间
- 2024-05-04 09:46
中频磁控溅射电源(mf)
1.简介:
中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式,交流正弦输出,输出频率设为典型的中频,中频电源以两个溅射靶作为负载,两个靶交替工作,溅射靶一个溅射周期内一半以上的时间为反向电压截止溅射,使靶材表面积累电荷有得到充分泄放时,有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒,特别适用于反应膜层环境使用。
2.产品特点:
(1)适用于中频孪生靶磁控溅射金属或非金属材料;特别适用于磁控反应溅射环境使用。
(2)人机交互操作界面;单片机智能控制;rs485通信;非晶逆变;模块igbt设计。
(3)自定义恒流、恒压、恒功率控制;输出电压、输出电流宽范围调节。
(4)完善的保护功能;设有过流、过压、过热、短路等多重保护。
(5)内置电子电抗;自动匹配负载;输出频率2×40khz。
(6)自动抑制靶材弧光放电及靶材表面中毒。
(7)镀膜工艺重复性好;提高成膜速度。
(8)高频交流输出。
(9)单片机c语言及汇编语言编程,键盘矩阵并行数据传输,瞬态响应快,误码率低,部分性能优于组态触摸屏/plc。
3.技术参数【注:zp-60kw为(主机+从机)2单元组合】
展开全文