高纯喷涂硅铝靶材/粉体 接受各类非标定制
- 供应商
- 安徽拓吉泰新型陶瓷科技有限公司
- 认证
- 报价
- ￥40000.00元每根
- 单位
- 米
- 种类
- 3N
- 种类
- 靶材
- 联系电话
- 0551-65563329
- 手机号
- 19355186968
- 客户经理
- 吴经理
- 所在地
- 安徽省合肥市经济技术开发区云二路176号中国声谷经开信创产业园TC栋2层201
- 更新时间
- 2022-07-06 16:00
喷涂硅铝靶材 spraysial target
产品说明productdescription
以等离子体为热源，在大气环境下通过一定的气氛保护装置，将si+al粉末加热到熔融或半熔融状态并高速冲击背管表面形成致密涂层，从而制备出高纯度、低氧含量、高致密度sial靶材。
withplasma as the heat source, high purity, low oxygen content, highdensity sial targets are produced by using si and alpowders. the startingsi and al powdersare heated to molten or semi-molten state withthe protection of certain atmosphere and sprayed onthe surface of backing tube at high speeds toform dense coatings.
项目 item | 参数 specifications | 检测手段 testingmethod |
纯度 purity | ≥99.9% | |
al含量 alcontent | 8-10% | |
密度 density | ≥2.2g/cm3 | |
杂质含量 impurities | fe: ≤350ppm ca: ≤50ppm cu: ≤50ppm mg:≤20ppm ni: ≤20ppm o: ≤6000ppm n: ≤500ppm 杂质总和(o、n除外): ≤1000ppm totalimpurity (excludingo, n) | icp 氧氮分析仪 oxygen andnitrogen analyzer
|
电阻率 electricalresistivity | ≤50mΩ∙cm | 四探针电阻率仪 four-proberesistivity meter |
背管材质 backingtube
-选用304/316l不锈钢（无磁）
靶材尺寸dimension
-按照图纸要求加工
according tocustomized drawings
应用领域applications
-用于制作sio2膜、si3n4膜，主要用于光学玻璃ar膜，low-e镀膜玻璃，半导体电子器件，tft-lcd，平面显示，触摸屏玻璃。
for depositionof sio2 and si3n4 films,whichare used for arfilms ofoptical glasses,low-e glasses,electronicdevices, tft-lcd, flatpanel screens,touch screen glasses.
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