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  洁净室压差控制

1洁净室(区)与周围的空间必须维持一定的压差，并应按工艺要求决定维持正压差或负压差。

2不同等级的洁净室之间的压差不宜小于5pa,洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5pa,洁净区与室外的压差不应小于10pa。

3洁净室维持不同的压差值所需的压差风量,根据洁净室特点,宜采用缝隙法或换气次数法确定。

4送风、回风和排风系统的启闭宜联锁。正压洁净室联锁程序应先启动送风机，再启动回风机和排风机;关闭时联锁程序应相反。

负压洁净室联锁程序应与上述正压洁净室相反。

5非连续运行的洁净室,可根据生产工艺要求设置值班送风，并应进行净化空调处理。