抚顺石化聚乙烯RP100N燃气管水管工程管道 2022已更新（当日/答复）

在17mmx 17mm的大小的（100)面取向的si基材上，依次层叠 sio2层、tio2层及pt层(顶层kpt层在氩气气氛下，在室温下溅射pt源，成膜之后，没有在氩气气氛中进行热处理。将该基板（以下，称为pt板。）载置于在300°c下进行加热的加热板上1分钟，并在大气中进行预先烘干。该预先烘干后，冷却pt基板，立即通过热脱附气体分析法(thermal desorptionspectroscopy，以下，称为tds法)测定吸附于pt基板表面的分子种类。

能够举出la或ni的各金属元素的金属羧酸盐、金属硝酸盐、金属醇盐、金属二醇络合物、金属三元醇络合物、金属二酮络合物、金属二酮酯络合物、金属亚氨基酮络合 物或金属氨络合物。具体而言，作为成为la源的lanio3前驱体（以下，有时表示为la原料）， 能够举出乙酸镧、辛酸镧、2-乙基己酸镧等金属羧酸盐、硝酸镧等金属硝酸盐、异丙醇镧等金属醇盐、乙酰丙酮镧等金属β-二酮络合物等。并且，作为成为ni源的lanio 3前驱体（以下，有时表示为ni原料），能举出乙酸镍、辛酸镍、2-乙基己酸镍等金属羧酸盐等金属硝酸盐、乙酰丙酮镍等金属β-二酮络合物等。其中，从溶解于溶剂的溶解度的高低或保存稳定 性等方面考虑，lanio3前驱体中，优选成为la源的lanio3前驱体或成为ni源的lanio3前驱体 中的至少一方为乙酸盐或硝酸盐。

la源、ni源为水合物的情况下，可以通过预先加热 等方法进行脱水处理之后使用，也可以在合成前驱体的过程中通过蒸馏等方法进行脱水。[0029] 将相对于lanio3前驱体、有机溶剂及稳定剂的总计100质量％而言，lanio3前驱体(la源与ni源的总计）的混合比例以氧化物换算限定在1~20质量％的范围内是因为，当lanio3前驱体的比例小于1质量％时，涂布膜的膜厚过于变薄，因此会有在膜中产生龟裂的不良情况，而超过20质量％时，产生前驱体的析出（沉淀)等而保存稳定性变差。另外，以氧化物换算的比例是指，在假设组合物中所包含的金属元素全部变成氧化物时，lanio 3前驱体、有机溶剂及稳定剂的总计100质量％中所占的金属氧化物的比例。并且，成为la源的lanio3前驱体或成为ni源的lanio3前驱体的混合比优选设成la元素与ni元素的金属原子比(la/ni)为1:1的比例。

以与上述 相同的条件对上述pt基板进行预先烘干，无需放置于大气中，而立即将pt基板移动到旋转涂布机上，在pt基板上旋涂表1所示的组合物no. 1。接着，将上述基板移动到在65°c下进行加热的加热板上并在此干燥1分钟，而且移动到450°c下加热的加热板上，并临时烧结5分钟。将临时烧结后的膜快速加热(rta)至800°c，由此在氧气气氛下烧成5分钟而形成lanio 3 薄膜。