高真空磁控溅射镀膜机 百诚
- 供应商
- 陕西百诚真空设备工程有限公司
- 认证
- 品牌
- 百诚
- 型号
- 高真空磁控溅射镀膜机
- 材质
- 不锈钢
- 联系电话
- 13991358300
- 手机号
- 13909218736
- 经理
- 张连启
- 所在地
- 陕西省西安市莲湖区大庆路3号蔚蓝国际B座21205室
| 品牌 | 百诚 | 型号 | 高真空磁控溅射镀膜机 |
| 材质 | 不锈钢 | 驱动方式 | 电动 |
| 原理 | 镀膜机 | 流量 | 0（m3/h） |
| 扬程 | 0（m） | 转速 | 0（rpm） |
| 轴功率 | 0（kw） | 大抽气量 | 0（m3/min） |
| 吸入口径 | 0（mm） | 排出口径 | 0（mm） |
| 功率 | 2kw |
特点及用途：该设备为高真空磁控溅射镀膜机。镀膜室、阀体及管道全部采用不锈钢材料;连接法兰采用cf及kf结构；基片旋转，旋转轴为磁流体传动方式。此设备可以在高真空条件下制备各种单层及多层金属膜、介质膜、合金膜等。
产品结构：由镀膜室、真空机组（主泵采用涡轮分子泵），真空测量及控制系统、工件安装盘升降旋转系统、气路系统、计算机（plc）辅助控制系统组成。
技术指标：极限压力：3x10-5pa靶径：ø50
抽气速率：110l/s功率：2kw
启动时间：≤20min漏率：≤1x10-7pa.l/s
镀膜室尺寸：ø350x350
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