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灭菌效果监测是评价其灭菌设备运转是否正常、灭菌药剂是否有效、灭菌方法是否合理、灭菌效果是否达标的主要手段。主要的灭菌效果监测方法包括：物理监测法、化学监测法、生物监测法及化学消毒剂的监测等。
灭菌器分类
辐射灭菌设备：伽玛射线灭菌器。
压力蒸汽灭菌设备：预真空蒸汽灭菌器、高压蒸汽灭菌器、自动高压蒸汽灭菌器、立式压力蒸汽灭菌器、卧式圆形压力蒸汽灭菌器、卧式矩形压力蒸汽灭菌器、脉动真空压力蒸汽灭菌器、手提式压力蒸汽灭菌器。
气体灭菌设备：环氧乙烷灭菌器、轻便型自动气体灭菌器。
干热灭菌设备：干热灭菌器、微波灭菌柜。
高压电离灭菌设备：手术室用高压电离灭菌设备、病房用高压电离灭菌设备。

低温灭菌方法是利用化学灭菌剂杀灭病原微生物的方法。化学药剂进行灭菌处理时所需温度较低，通常称为低温灭菌方法或化学灭菌方法。低温灭菌使用的化学消毒剂能够杀灭所有微生物，达到灭菌保证水平，这类具有灭菌作用的化学药剂有、环氧乙烷等。化学灭菌用于不能耐受高温、湿热材质类的器械的灭菌。
常用的低温灭菌方法有过氧化氢等离子低温灭菌、环氧乙烷灭菌、低温蒸汽灭菌等。
1、过氧化氢等离子低温灭菌
通过过氧化氢液体弥散变成气体状态后对物品进行灭菌，通过产生的等离子体进行第二阶段灭菌。等离子过程还可加快、彻底分解过氧化氢气体在器械和包装材料上的残留。等离子体灭菌法的特点为作用迅速、杀菌可靠、作用温度低、清洁而无毒性残留。适用于内镜、不耐热器材、各种金属器械、玻璃等物品；能吸收水分和气体。
2、 环氧乙烷灭菌
环氧乙烷是一利无色气体，气味与相似，低浓度时无味。其气休穿透力强，可穿透玻璃纸、聚乙烯或聚氯乙烯薄膜等，对微生物的蛋白质、DNA、RNA产生非特的烷基化作用，使其失去新陈代谢的基本反应基而被杀灭，杀菌力强，杀面谱广，灭菌效果可靠，对灭菌物品损害较小等。

热力灭菌法是利用高温使菌体蛋白质凝固或变性，酶失去活性，代谢发生障碍，致。热力灭菌法包括湿热灭菌法和干热灭菌法。湿热可使菌体蛋白凝固、变形；干热可使菌体蛋白氧化、变性、碳化和使电解质浓缩引起细胞的。热力灭菌方便、效果好、无毒，是医院消毒供应中心使用的主要灭菌方法。压力蒸汽灭菌方法是耐湿、耐热器械的灭菌方法。
压力蒸汽灭菌采用湿热灭菌法，在同样温度下，湿热的杀菌效果比干热好，有以下原因：
蛋白质凝固所需的温度与其含水量有关，含水量越大，发生凝固所需的温度越低。湿热灭菌时的菌体蛋白质可吸收水分，因而比在同一温度的干热空气中更易于凝固。
湿热灭菌过程中蒸汽放出大量潜热，进一步提高温度。在同一温度下，湿热灭菌所需时间比干热短。
湿热气体的穿透力比干热气体强，故湿热比干热收效好。高压蒸汽可以杀死一切微生物，甚至包括的芽孢，的孢子等耐高温的个体。灭菌的蒸汽温度随蒸汽压力增加而升高，通过增加蒸汽压力，灭菌时间可被大大缩短。因此它是一种有效，使用广泛的灭菌方法。

干热灭菌器是由双层铁板制成的方形金属箱，外壁内层装有隔热的石棉板。箱底下放置大型火炉，或在箱壁中装置电热线圈。内壁上有数个孔，供流通空气用。箱前有铁门及玻璃门，箱内有金属箱板架数层。电热烤箱的前下方装有温度调节器，可以保持所需的温度。
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