工业用等离子电场 浙江电场 洁盟环保

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 一种等离子体处理装置，其特征在于，包括:高频电源，其具有至少能够将高频电力的电力设定值与用于校正输出电力的偏移值作为数字数据输入的数据输入端子、和输出所述高频电力的电力输出端子，根据所述电力设定值与所述偏移值调整目标电力输出值，从所述电力输出端子输出与该目标电力输出值相应的高频电力

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  电源控制单元，其在校正所述高频电源时，浙江电场，根据所述电力设定值与由所述电力值检测单元检测出的电力检测值的差值求取所述偏移值，将所述电力设定值和所述偏移值数字传送至所述高频电源的数据输入端子，由此，以使输入所述匹配器的高频电力的值成为所述电力设定值的方式，控制从所述高频电源的电力输出端子输出的高频电力。

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