sf6气体绝缘的变压器具有防火防爆的优点，这种配电变压器特别适用于人口稠密的地区和高层建筑的供电。sf6气体绝缘的超高压变压器已研制成功，六氟化硫压力，全气体绝缘变电所将是变电技术发展的一个方向。[1]性质编辑化学性质稳定。微溶于水、醇及醚，可溶于。不与、液氨及盐酸起化学的反应。300℃以下干燥环境中与铜、银、铁、铝不反应。500℃以下对石英不起作用。250℃时与反应，-64℃时在液氨中反应。与混合加热则分解。200℃时，在特定的金属如钢及硅钢存在下，能促使其缓慢分解。
直接电解法 将硫、、一氯化硫、或等加入到无水中，以镍为阳极进行电解即可制得六氟化硫。用与无水电解时，以镍作极，铁作阴极，温度为－10～20℃，电压为7～20v。电解产物应除去杂质;催化氧化法 金属氧化物为催化剂，吴中区六氟化硫，于300℃下，用空气氧化，该法缺点是收率过低。热解法，在500～2000℃使sf4热解，但该法的转换率及收率皆低，采用微波放电分解sf4亦可。
硫在氟气流中燃烧，六氟化硫开关，生成的产物凝聚在冷阱中。随后进行纯化，使产物气化并通过10%的koh热溶液（不用naoh）洗涤除去其中的杂质（hf，sf2，sf4，sof2，六氟化硫作用，s2f10）。然后用p4o10干燥产物气体，并在室温下通过活性炭除去s2f10。3、使so2在过量的f2中燃烧可生成sf6。反应温度约650℃，产物在冷阱中凝聚，其中除sf6外主要杂质是so2f2。纯化时将其通过装有水和热的10%koh溶液的洗涤瓶，后用p4o10干燥。
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