氮化镓氮化硅涡流法方阻电阻率测试仪
- 供应商
- 九域半导体科技（苏州）有限公司
- 认证
- 全国服务热线
- 13739170031
- 联系人
- 张占武
- 所在地
- 苏州市相城区太平街道聚金路28号8号楼2楼205室（注册地址）
- 更新时间
- 2024-05-04 09:00
参数 | 方阻 | 电阻率（厚度180um） | 方法 | |
探头量程 | 1-600Ω/¨ | 0.018-10.8 Ω∙cm | 涡流法 | |
探头性能 | 动态重复性 | 静态重复性 | 示值误差 | |
1-80Ω/¨（0.018 - 1.44Ω∙cm） < 0.2% | <0.01% | ±1% | ||
80-120Ω/¨（1.44 - 2.16Ω∙cm） < 0.3% | ||||
120-300Ω/¨（2.16 - 5.4Ω∙cm） < 0.5% | ||||
300-600Ω/¨（5.4 - 10.8Ω∙cm）< 1% | ||||
外形尺寸 | 上探头Ф20*145mm | 下探头Ф20*50mm | ||
信号采集 | 采样率：大1500sps | |||
采样个数：大512点/单次 | ||||
采样缓存：8级数据记录缓存 | ||||
数据传输：rs232 rs485cantcp/ip | ||||
传输协议：modbus rtu/ modbus tcp 用户自定义协议等 | ||||
供电电源 | 24v/1a | |||
非接触式无损方块电阻测试仪、晶圆方阻测试仪，方阻测试仪，硅片电阻率测试仪，涡流法高低电阻率分析仪，晶锭电阻率分析仪，涡流法电阻率探头和pn探头测试仪，迁移率（霍尔）测试仪，少子寿命测试仪，晶圆、硅片厚度测试仪，表面光电压仪jpv\spv、汞cv、ecv。为碳化硅、硅片、氮化镓、衬底和外延厂商提供测试和解决方案。
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