上海伯东代理美国原装进口 KRI 射频离子源 RFICP 140
- 供应商
- 伯东企业(上海)有限公司
- 认证
- 品牌
- KRI
- 型号
- RFICP 140
- 产地
- 美国
- 联系电话
- 021-50463511
- 手机号
- 13918837267
- 联系人
- 叶小姐
- 所在地
- ec@hakuto-vacuum.cn
- 更新时间
- 2023-04-12 09:43
kri 射频离子源 rficp 140
上海伯东代理美国原装进口 kri 射频离子源 rficp 140 是一款紧凑的有栅极离子源,非常适用于离子束溅射沉积, 离子辅助沉积和离子束刻蚀. 在离子束溅射工艺中,射频离子源 rficp 140 配有离子光学元件, 可以很好的控制离子束去溅射靶材,实现更佳的薄膜特性. 同样的在离子束辅助沉积和离子束刻蚀工艺中, 离子光学元件能够完成发散和聚集离子束的任务. 就标准的型号而言,可以在离子能量为 100~1200 ev 范围内获得很高的离子密度. 可以输出*大 600 ma 离子流.
kri 射频离子源 rficp 140 技术参数:
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