● 通用型,适用于3mpa以下各种气体 ● 响应速度100ms,无需预热,上电即可操作v10fd中高压型流量计
● 无热漂移,长期稳定性0.1%f.s/年
● 数模兼容,可使用二次表或计算机控制和显示流量
● 内置阀控指示灯/通讯指示灯/流量指示灯
● 内置4种气体,无比热容附加误差,不影响精度 v10fd-m/h采用全不锈钢传感器，适合于测量各种与316 不锈钢兼容的气体。该产品为模拟和数字兼容型设计：可通 过模拟型二次表或plc进行设定和显示瞬时流量；也可通过 数字接口直接与计算机进行通讯。具有通用于模拟型控制系 统和数字型控制系统的特点。
v10fd-m/h采用无热漂移,无响应滞后的差压质量流量测 量原理。多气体多量程的设计便于用户现场配置流量计：通过 拨码开关可以现场选择四种测量气体，每种气体有3种校 准量程，六个led指示灯可以较直观的显示v10fd-m/h的 各种工作状态。如果需要对气体流量进行控制时,还可以加装 电磁比例调节阀和内置pid调节功能。
与传统热式气体质量流量控制器/计不同,当使用气体转换系v10fd中高压型控制器 数时,v10fd-m/h没有附加的比热容误差,所以,即使测量气体与 出厂时的标定气体不同,也不会影响测量精度。 产品应用
真空 半导体 航空航天 工业制造 石油化工
冶金煤炭 环境分析 食品药品 生物科技技术参数 技术指标:v10fd-m/hc质量流量控制器 v10fd-m/hm质量流量计
量程范围: 小量程:5sccm～10slm 中量程:10slm～30slm 大量程:30slm～250slm
测控范围: 控制器阀控范围50:1 流量计量程比100:1
准 确 度: 流量：±1.5%读数±0.2%满量程
可选±0.8%读数±0.2%满量程
压力：0.5%f.s 温度：±1℃
线 性:±0.5%f.s
重复精度: ±0.2%f.s
响应时间: 100ms 10ms
数 字 量: rs232/485，modbus协议
模 拟 量: 0～5v、4～20ma、1～5v
供 电: 24v/±15v可选
工作温度: 0～50℃
工作压力: 工作压差：0.03～0.5mpa 工作压降：<0.01mpa
大耐压: 中压3mpa，高压10mpa
电气连接: db15孔
漏 率: 1×10-9sccshe
温度系数: ±0.015%f.s/℃
底座材质: 316l不锈钢
密封材料: 氟橡胶,氯丁橡胶，丁晴橡胶
接 头: vcr1/4;swagelokφ6 |