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      edwardsepx 系列支持清洁和轻型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。epx 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。epx 泵采用已获zhuanli的单轴再生 holweck® 分级机构，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7torr的极限压力。epx 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，可以远程安装。重量43.5kg。

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      edwardspvmk是一种快动式直线或直角杠操作阀。杠杠与自润滑的塑料凸轮活塞相连，通过ptfe轴承促动阀杠和阀板。阀板o型圈槽进行排气以避免气爆。阀设计为可在10-9mbar/8*10-10torr以上和2100 mabr/1575 torr (30 psi)以下的压力范围内运行。

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