氦质谱检漏设备 华诚浩达真空设备公司

氦质谱检漏仪的结构

氦质谱检漏仪分析器的作用是使不同质荷比的离子按不同轨迹运动从而将它们彼此分开，仅使氦离子通过其出口隙缝。分析器由一个外加均匀磁场及一个出口电极组成。

氦质谱检漏仪分析器的出口电极一般采用三栅结构。在离子收集极前面有三个栅极g1、g2、g3。g1和g3接地，中间栅极g2与离化室相连。g1栅的狭缝决定了氦离子的运动半径，氦质谱检漏设备，而使除氦以外的其他离子打不到收集极上去。中间栅极g2的正电位对于正离子而言相当于一个拒斥电场，只有具有一定能量的氦离子才能通过g2的狭缝，而由于碰撞失去能量的其他杂散离子即使进入g1狭缝，也不能通过g2狭缝到达收集极，氦质谱检漏设备公司，使收集极的氦离子流不受这些杂散离子的干扰。栅极g3是抑制离子在收集极上打出的二次电子不跑向g2，使它仍返回收集极，以防离子流的不稳定。

氦质谱检漏仪的结构

氦质谱检漏仪的电气部分。氦质谱检漏仪除了主机供电部件和主机控制部件外，还有几组主要电路：

1、离子源电源。为离子源提供加速、聚集、拒斥电压。

2、发射电流稳定电路。稳定和调节发射电流。

3、离子流放大器和单响报警器。将离子流进行放大并将输出信号送入输出仪表或显示器和音响报警器。

4、真空测量电路。一般用热偶计测量低真空，正压氦质谱检漏设备厂家，用冷阴极磁控放电真空计测量高真空。

5、灯丝保护电路。当质谱室正常工作压力被破坏后，立即切断灯丝供电回路，以保护灯丝。

6、其他电路。不同型号的氦质谱检漏仪所具有的功能不尽相同，所以电路也有不少差别，这在各自的说明书中都有说明。

氦质谱检漏仪使用须知

1.设备应在施工工作完使用须知成后进行本测试，测试完成后不得进行焊缝的修磨等。

2.若设备被浸湿或有残余的液体都会影响毛细管的泄漏而影响测试结果的真实性。

3.因氦比空气轻，因此要注意检漏的顺序，检查顺序应依照由下而上，由近而远的顺序进行。

4.检漏过程中，正压氦质谱检漏设备多少钱，如发现大量氦气进入质谱检漏仪，应立即移去吸枪，防止因仪器长时间清除不掉氦影响而延误测试。

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